FRANTÍK, Ondřej. Omezení defektů v Si substrátech metodou rychlých tepelných procesů. Online, Diplomová práce, vedoucí Ivan Szendiuch. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky. Dostupné z: http://hdl.handle.net/11012/17123. [cit. 2023-10-04].
Uložit do Citace PRO