ŠILHAN, Lukáš. Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání [online]. Brno, 2019 [cit. 2021-6-23]. Dostupné z: http://hdl.handle.net/11012/179402. Diplomová práce. Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství. Vedoucí práce Mojmír Šerý.
Uložit do Citace PRO