EUV lithography

Bakshi Vivek

Kniha

Citace v seznamu literatury:

BAKSHI, Vivek. EUV lithography. SPIE Press monograph. Bellingham, Wash.: SPIE Press, c2009. Dostupné z: https://doi.org/9781615837175.

skrýt nepovinné údaje zobrazit další údaje

ISBN*:

Vyplňte povinné pole

Jiný identifikátor:

Autoři:

Jméno:	Příjmení:	Role:

Korporace:

Název*:

Podnázev:

Svazek:

Vydání*:

Vyplňte povinné pole

Sekundární odpovědnost:

Místo vydání:

Nakladatelství*:

Rok vydání*:

Počet stran:

Edice:

Subedice:

Číslo edice:

Jazyk:

Poznámka:

Zkontrolovat citaci Uložit